用于衬底传递的高温抗下垂终端受动器

摘要

本发明的实施方式涉及用于传递半导体衬底的高温抗下垂终端受动器。本发明的一个实施方式提供一种用于衬底传送器的终端受动器。所述终端受动器包含自由端，其具有配置为支撑衬底的衬底支撑表面，并使衬底相对于水平面成第一角度定位；所述终端受动器包含固定端，其配置为安装在所述衬底传送器上，其中当没有衬底设置在自由端上时，所述终端受动器安装在衬底传送器上的衬底支撑表面相对于水平面成第二角度的位置，以及所述第一角度不同于第二角度。

主权项

一种用于衬底传送器的终端受动器，包含：自由端，其具有配置为支撑衬底的衬底支撑表面；以及固定端，其配置为安装在所述衬底传送器上，其中所述固定端的顶表面基本平行于所述自由端的衬底支撑表面，并且底表面具有相对于顶表面的斜面，所述斜面形成为有助于所述终端受动器的倾斜安装，并且所述固定端具有锥状。