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发明名称 Chemically etched microcontact
摘要
申请公布号 EP1300685(B1) 申请公布日期 2011.05.18
申请号 EP20020020973 申请日期 2002.09.19
申请人 WENTWORTH LABORATORIES, INC. 发明人 MCQUADE,FRAN;BARTO, CHARLES, L.
分类号 G01R3/00;G01R31/26;G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R3/00
代理机构 代理人
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