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发明名称 A MIXED TRIMMING METHOD
摘要
申请公布号 EP2321842(A1) 申请公布日期 2011.05.18
申请号 EP20090811093 申请日期 2009.07.31
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 BROEKAART, MARCEL;MIGETTE, MARION;MOLINARI, SEBASTIEN;NEYRET, ERIC
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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