发明名称 |
从陶瓷基片上去除含有钽沉积层和铝电弧喷涂层的复合涂层的方法 |
摘要 |
一种从陶瓷基片表面去除金属层的方法,该方法包括将含有金属涂层的陶瓷基片浸没在浓度高达31%盐酸溶液内,浸渍时间要足以至少基本上将金属层从基片上溶解或去除,从酸溶液中取出陶瓷基片,再在淋洗液中淋洗陶瓷基片,并且在预定的温度下进行热处理,处理时间要足以至少减少该陶瓷基片表面上的损伤或缺陷。 |
申请公布号 |
CN1598061B |
申请公布日期 |
2011.05.18 |
申请号 |
CN200410064239.1 |
申请日期 |
2004.08.19 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
R·R·布吉斯;I·M·戴维斯 |
分类号 |
C23F1/14(2006.01)I |
主分类号 |
C23F1/14(2006.01)I |
代理机构 |
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 |
代理人 |
李剑;南霆 |
主权项 |
一种将至少由一种金属形成的金属层从陶瓷基片表面去除的方法,所述方法包括:将涂覆有金属层的陶瓷基片浸渍在浓度高达31体积%的盐酸溶液内,浸渍时间要足以从基片上基本除去金属层;以及浸渍步骤之后,在可温控的炉窑中对陶瓷基片进行热处理步骤,以通过热处理至少减少早先存在于陶瓷基片表面的损伤,所述热处理步骤包括:以122℉/小时的第一升温速率加热到302℉下的第一温度;在第一温度下保温1小时;以212℉/小时的第二升温速率加热到752℉的第二温度;以347℉/小时的第三升温速率加热到1652℉下的第三温度;在第三温度下保温7小时;以210℉/小时的降温速率,使基片冷却至100℉的第四温度。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |