气体注射器和包含气体注射器的装置

摘要

一种气体注射器包含：一包含至少一个第一注射孔的板；和至少一个与所述板组合的喷嘴模件，所述至少一个喷嘴模件包含至少一个连接到所述至少一个第一注射孔的第二注射孔。

主权项

一种气体注射器，其包括：一包含上表面和下表面的板，所述板具有多个第一注射孔，以从所述下表面注射气体至反应空间；和与所述板的所述上表面组合的多个喷嘴模件，每一所述喷嘴模件包含至少一个连接到所述多个第一注射孔中的对应孔的第二注射孔，以由此形成气体通道，从而向所述多个第二注射孔提供所述气体；其中所述板的所述上表面包括连接到所述多个第一注射孔中的对应孔的多个开口，每个所述开口形成在所述板中，作为直径大于每一所述第一注射孔的直径的凹入部分；其中所述多个喷嘴模件分别插入所述多个开口内。