气体轴承静电夹具

摘要

本发明提出一种静电夹器，其具有一夹持板，其中，夹持板具有一区域与一环状区域。多个气体供应孔口是设置于夹持板的区域，其中，多个气体供应孔口是流体连通于一加压气体供应器，且加压气体供应器是构成以经由多个气体供应孔口而提供夹持表面与工件之间的一气垫于夹持板的区域。一个或多个气体返回孔口是设置于夹持板的区域与环状区域的一个或多个，其中，一个或多个气体返回孔口是流体连通于一真空源，在其中大致设置了用于气垫的一排气路径。一密封是配置于夹持板的环状区域，其中，密封是构成以大致防止气垫自区域泄漏至环状区域的外部环境。一个或多个电极进而电连接至一第一电压电位以提供一第一夹持力。

主权项

一种静电夹器，其用于选择性地维持工件的位置，该静电夹器包括：夹持板，其具有与该工件关联的夹持表面，其中，该夹持板具有设置在其中的中央区域与环状区域，并且其中，该环状区域是大致地配置在该中央区域的周边；多个气体供应孔口，其设置在该夹持板的中央区域，其中，该多个气体供应孔口与加压气体供应器流体连通，并且其中，该加压气体供应器被构造成经由该多个气体供应孔口而将该夹持表面与工件之间的气垫提供在该夹持板的中央区域；一个或多个气体返回孔口，其限定在该夹持板的中央区域与环状区域的一个或多个，其中，该一个或多个气体返回孔口与真空源流体连通，在其中大致地设置了用于该气垫的排气路径；密封，其形成于该夹持板的环状区域，其中，该密封被构造成大致地防止该气垫自该中央区域泄漏至该环状区域的外部环境；及一个或多个电极，其至少与该中央区域关联，其中，该一个或多个电极电连接至第一电压电位。