| 发明名称 | 用于在光致抗蚀剂图案上面涂覆的含水组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于涂覆光致抗蚀剂图案的水性涂料组合物，其包含含至少一种具有烷基氨基的单元的聚合物，其中该单元具有结构(1)，其中R<sub>1</sub>-R<sub>5</sub>独立地选自氢和C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷基，和W是C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷基。本发明还涉及使用本发明组合物使光致抗蚀剂层成像的方法。<img file="200980122674.6_ab_0.GIF" wi="149" he="160" /> | ||
| 申请公布号 | CN102066509A | 申请公布日期 | 2011.05.18 |
| 申请号 | CN200980122674.6 | 申请日期 | 2009.06.17 |
| 申请人 | AZ电子材料美国公司 | 发明人 | M·迪亚加拉詹;曹毅;洪圣恩;R·R·达梅尔 |
| 分类号 | C09D133/14(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | C09D133/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 宓霞 |
| 主权项 | 1.用于涂覆光致抗蚀剂图案的水性涂料组合物，其包含含至少一种具有烷基氨基的单元的聚合物，其中该单元具有结构(1)，<img file="FDA0000038796140000011.GIF" wi="256" he="474" />其中R<sub>1</sub>-R<sub>4</sub>独立地选自氢和C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷基，R<sub>5</sub>是C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷基，和W是C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>亚烷基。 | ||
| 地址 | 美国新泽西 | ||