对准标记的检测方法

摘要

一种对准标记的检测方法，能够通过进行边缘检测正确地检测外观多种多样的工件对准标记(工件标记)的图案的位置。利用准直显微镜接收工件标记的图案的图像，并将该图像发送至控制部。在控制部求出从取得的图案的图像的中心附近开始在多个放射方向的相对于距离的亮度分布。对求出的亮度分布微分，求出相对于距离的亮度变化即微分值，对各个放射方向求出微分值的极大值的位置。分别一个一个地抽出求出的极大值的位置而进行组合，求出多个与通过极大值的位置的闭曲线近似的圆。对该多个圆的半径与工件对准标记的半径进行比较，从上述多个圆中选择半径最接近的圆，并以该圆的中心位置作为工件对准标记的位置。

主权项

一种工件对准标记的检测方法，检测形成于工件上的圆形的凹陷来作为工件对准标记，该工件对准标记的检测方法的特征在于，包括：第一工序，取得形成于工件的图案的图像；第二工序，对从上述取得的图案的图像的中心附近开始的多个放射方向、或者朝向中心方向的多个放射方向，求出相对于距离的亮度分布；第三工序，对上述求出的亮度分布进行微分，求出相对于距离的亮度变化即微分值，并对上述各个放射方向求出该微分值的极大值或者极小值的位置；第四工序，分别一个一个地抽出对上述各个放射方向求出的上述极大值或者极小值的位置而进行组合，求出多个近似的圆；第五工序，对上述多个圆的半径或者直径与圆形的工件对准标记的半径或者直径进行比较，从上述多个圆中选择与工件对准标记的半径或者直径最接近的圆；以及第六工序，计算上述选择的圆的中心位置，并以该中心位置作为工件对准标记的位置。