发明名称 SISTEMA DE BOMBEO COMBINADO QUE COMPRENDE UNA BOMBA GETTER Y UNA BOMBA DE IONES
摘要 Se describe un sistema de bombeo combinado que comprende una bomba getter (120; 220) y una bomba de iones (130; 230). La bomba getter y la bomba de iones (120, 130; 220, 230) se montan en serie sobre una misma brida (111; 211) y se disponen respectivamente en lados opuestos de la misma de modo que la conductancia de ambas, la bomba getter y la bomba de iones, es maximizada con respecto a las fuentes de flujo de gas en una cámara de vacío para mejorar el nivel de vacío del sistema.
申请公布号 AR076124(A1) 申请公布日期 2011.05.18
申请号 AR2010P100819 申请日期 2010.03.16
申请人 SAES GETTERS S.P.A. 发明人 CONTE, ANDREA;MANINI, PAOLO;BONUCCI, ANTONIO
分类号 (IPC1-7):H01J41/00 主分类号 (IPC1-7):H01J41/00
代理机构 代理人
主权项
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