摘要 |
Se describe un sistema de bombeo combinado que comprende una bomba getter (120; 220) y una bomba de iones (130; 230). La bomba getter y la bomba de iones (120, 130; 220, 230) se montan en serie sobre una misma brida (111; 211) y se disponen respectivamente en lados opuestos de la misma de modo que la conductancia de ambas, la bomba getter y la bomba de iones, es maximizada con respecto a las fuentes de flujo de gas en una cámara de vacío para mejorar el nivel de vacío del sistema.
|