发明名称 |
栅极调制垂直结构GaN基发光二极管的器件结构及制备方法 |
摘要 |
一种栅极调制垂直结构GaN基发光二极管结构,包括:一导电衬底;一p型GaN层,该p型GaN层制作在导电衬底上;一多量子阱有源层,该多量子阱有源层制作在p型GaN层上;一n型GaN层,该n型GaN层制作在多量子阱有源层上;一N电极,该N电极制作在n型GaN层上面的中间;一栅极绝缘层,该栅极绝缘层制作在n型GaN层上没有N电极的部分,并围绕N电极;一栅电极,制作在栅极绝缘层上。 |
申请公布号 |
CN102064261A |
申请公布日期 |
2011.05.18 |
申请号 |
CN201010534772.5 |
申请日期 |
2010.11.03 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
刘志强;郭恩卿;伊晓燕;汪炼成;王国宏;李晋闽 |
分类号 |
H01L33/36(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/36(2010.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
汤保平 |
主权项 |
一种栅极调制垂直结构GaN基发光二极管结构,包括:一导电衬底;一p型GaN层,该p型GaN层制作在导电衬底上;一多量子阱有源层,该多量子阱有源层制作在p型GaN层上;一n型GaN层,该n型GaN层制作在多量子阱有源层上;一N电极,该N电极制作在n型GaN层上面的中间;一栅极绝缘层,该栅极绝缘层制作在n型GaN层上没有N电极的部分,并围绕N电极;一栅电极,制作在栅极绝缘层上。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |