发明名称 栅极调制垂直结构GaN基发光二极管的器件结构及制备方法
摘要 一种栅极调制垂直结构GaN基发光二极管结构,包括:一导电衬底;一p型GaN层,该p型GaN层制作在导电衬底上;一多量子阱有源层,该多量子阱有源层制作在p型GaN层上;一n型GaN层,该n型GaN层制作在多量子阱有源层上;一N电极,该N电极制作在n型GaN层上面的中间;一栅极绝缘层,该栅极绝缘层制作在n型GaN层上没有N电极的部分,并围绕N电极;一栅电极,制作在栅极绝缘层上。
申请公布号 CN102064261A 申请公布日期 2011.05.18
申请号 CN201010534772.5 申请日期 2010.11.03
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 刘志强;郭恩卿;伊晓燕;汪炼成;王国宏;李晋闽
分类号 H01L33/36(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/36(2010.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种栅极调制垂直结构GaN基发光二极管结构,包括:一导电衬底;一p型GaN层,该p型GaN层制作在导电衬底上;一多量子阱有源层,该多量子阱有源层制作在p型GaN层上;一n型GaN层,该n型GaN层制作在多量子阱有源层上;一N电极,该N电极制作在n型GaN层上面的中间;一栅极绝缘层,该栅极绝缘层制作在n型GaN层上没有N电极的部分,并围绕N电极;一栅电极,制作在栅极绝缘层上。
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