| 摘要 |
通带滤光片的设计，通常利用多层¼λ0光学厚度单位的Fabry-perot干涉原理，由双腔或多腔构成。这样的通带滤光片的生产控制上，最有效也是最常见的方法是采用¼λ0光学厚度的极值法(直接法)，也就是采用一个控制片从第一层开始，一直监控到最后一层。本发明的方法是改多腔F-P结构的相邻谐振腔之间的连接层（耦合层）为含有优化的非¼λ0光学厚度的复合耦合层。在复合耦合层的监控时，可采用比例法或几何厚度法来监控其前面的非¼λ0光学厚度，而复合耦合层的最后非¼λ0光学厚度层完成时光量变化正好处于极值点的位置，这样复合耦合层最后一层非¼λ0光学厚度层也可采用极值法控制，也就是说整个膜系可采用直接法完成。 |
