发明名称 一种无网带硅电池片烧结炉
摘要 一种无网带硅电池片烧结炉,包括进料台、隧道式烧结箱、出料台和硅片输送装置,在沿隧道式烧结箱的纵向依次设有预热排胶区、升温区、烧结区和降温区,在各温度之间均设有隔热板和气流隔热门,在预热排胶区、升温区和烧结区内设有加热灯管,在固定底板和活动板之间设有往复升降机构,在固定底板与滑动板之间设有往复平移机构,滑动板相对于固定底板依次完成上升、前移、下移和后移动作;硅片输送装置包括固定托架和移动托架,由于在各个区之间设置了隔热板和气流隔热门,能有效地分隔温区,使各温区内温度更接近烧结工艺要求,并使隧道绕结区和大气隔绝,既提高烧结效率,又减少烧结炉热量消耗,从而能使整个烧结炉的炉体长度缩短。
申请公布号 CN102062529A 申请公布日期 2011.05.18
申请号 CN201010523699.1 申请日期 2010.10.29
申请人 常州亿晶光电科技有限公司 发明人 孙铁囤;荀建华;刘志刚;高玉山;潘盛;姚伟忠;陈琼
分类号 F27B9/02(2006.01)I;F27B9/06(2006.01)I;F27B9/26(2006.01)I;F27B9/30(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 F27B9/02(2006.01)I
代理机构 常州市维益专利事务所 32211 代理人 周祥生
主权项 一种无网带硅电池片烧结炉,其特征是:所述无网带硅电池片烧结炉,它包括进料台(1)、隧道式烧结箱(2)、出料台(3)、硅片输送装置(4)和炉体架(5),沿隧道式烧结箱(2)的纵向依次设有预热排胶区(21)、升温区(22)、烧结区(23)和降温区(24)四个区域,其特征是:在预热排胶区(21)、升温区(22)、烧结区(23)和降温区(24)之间均设有隔热板(25),在预热排胶区(21)、升温区(22)和烧结区(23)内设有加热灯管(26);出料台(3)的结构与进料台(1)的结构相同,且两者对称设置,它们都包括固定底板(11、31),固定架(12、32),导向杆(13、33),导向套(14、34),活动板(15、35),滑轨(16、36)和滑动板(17、37),滑轨(16、36)分别固定在活动板(15、35)上,滑动板(17、37)分别套装在滑轨(16、36)上,活动板(15、35)分别通过导向杆(13、33)和导向套(14、34)的套装结构与固定底板(11、31)相连接,固定底板(11、31)都安装在炉体架(5)上;在固定底板(11、31)和活动板(15、35)之间设有往复升降机构,在固定底板(11、31)与滑动板(17、37)之间设有往复平移机构,往复升降机构带动活动板(15、35)相对于固定底板(11、31)周期性地完成上升和下降动作,往复平移机构带动滑动板(17、37)相对于活动板(15、35)周期性地完成前移和后移动作;硅片输送装置(4)包括固定托架(41)和移动托架(42),固定托架(41)的两端分别固定在进料台(1)和出料台(3)中的固定架(12、32)上,移动托架(42)的两端分别固定在进料台(1)和出料台(3)中的滑动板(17、37)上,且固定托架(41)位于两相邻移动托架(42)之间。
地址 213200 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号