远距光谱仪的连接结构

摘要

一种远距光谱仪的连接结构，该远距光谱仪的连接结构可通过USB服务器将EPD控制器连接至以USB接口形式安装于反应室中的远距光谱仪，以克服由USB电缆的有效长度产生的限制，并且将光谱仪产生的数据稳定地传输至EPD控制器，藉此提高制程反应室发射的等离子发射的监测效率。

主权项

一种远距光谱仪的连接结构，包括：邻近设置于大尺寸制造设备内的反应室观察端口并连接至单个EPD控制器的多个光谱仪，其特征在于所述多个光谱仪分别连接至设置于多个通道的多个USB设备服务器(USD)，设置于各所述通道的各所述USB设备服务器(USD)连接至单个交换集线器，并且所述交换集线器连接至所述EPD控制器。