一种具有除尘功能的输送设备

摘要

本发明为一种具有除尘功能的输送设备，适用于输送装载多个基板的一卡匣，该输送设备包括：一输送通道，具有一底板及两侧壁；一移动基座，可移动地设置在所述输送通道的底板上；以及一工作台，配置于移动基座上，用于承载卡匣，其表面为孔洞间隙结构。使用本发明提供的具有除尘功能的输送设备能够满足无尘环境的需求，在输送卡匣的过程中经由孔洞间隙结构收集微粒物或磨耗粉尘，防止飘散、污染问题，减少清洁流程与时间。

主权项

一种具有除尘功能的输送设备，适用于输送装载多个基板的一卡匣，其特征在于，所述输送设备包括：一输送通道，具有一底板及两侧壁；一移动基座，可移动地设置在所述输送通道的所述底板上；以及一工作台，配置于所述移动基座上，用于承载所述卡匣，其表面为孔洞间隙结构。