热处理装置

摘要

本发明提供一种热处理装置，使配置作为防尘壁的多片耐热玻璃的各个接合部分中不形成间隙，确实防止从外壁构件和加热器所产生的尘埃侵入至搬送路径内，因此能提高搬送路径内的清净度。将上面多个耐热玻璃(31)配置于排气箱(4)的上面的上方处。各耐热玻璃(31)的配置，使搬送路径下游侧的端部(31A)，跟与下游侧邻接的其它耐热玻璃(31)的上游侧的端部(31B)的上方重合。在该重合部分处，可配置耐热的密封薄板。

主权项

一种热处理装置，具备有：外壁构件，其覆盖于搬送被处理物的搬送路径的上面、下面、左侧面及右侧面的四个面；排气箱，其配置在上述搬送路径内并将空气排出至外部；以及多个板状防尘构件，其分别在上述四个面外壁构件的内侧，沿上述搬送路径而配置，其特征为：在上述上面的外壁构件内侧的上面的多个防尘构件，位于上述排气箱的上面的上方，使其端部相互重合而配置；其中，还具备有可挠性的耐热薄板，该耐热薄板配置在上述上面的多个防尘构件的重合部分；并且，配置在上述重合部分的上述耐热薄板为使其折曲部朝向上述搬送路径内而折迭的平板状薄板。