发明名称 SEMICONDUCTOR TUNNEL-OPSTELLING, WAARIN HET PLAATSVINDEN VAN OPVOLGENDE SEMICONDUCTOR BEHANDELINGEN VAN OPVOLGENDE ERDOORHEEN VERPLAATSENDE SEMICONDUCTOR SUBSTRAAT-GEDEELTES EN WAARBIJ MEDE DAARIN MEERDERE STRIPVORMIGE MEDIUM TOEVOER-INRICHTINGEN IN TEN MINSTE HET BOVENTUNNELBLOK ERVAN ZIJN OPGENOMEN VOOR EEN ONONDERBROKEN TOEVOER VAN TENMINSTE MEDE DE COMBINATIE VAN DEELTJES VAN EEN DRAAGMEDIUM IN EEN GASVORMIGE - OF VERDAMPBARE VLOEIBARE VORM ERVAN.
摘要
申请公布号 NL1037473(A) 申请公布日期 2011.05.18
申请号 NL20091037473 申请日期 2009.11.17
申请人 BOK, EDWARD 发明人 BOK, EDWARD
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
地址