分体式超精密气体静压轴系

摘要

本发明公开了一种分体式超精密气体静压轴系。三个轴向支撑架和三个径向支撑架安装于底盘套，相位为60°，设计工字圆柱形或纺锤形转轴连接转台，下端可用于连接电机等驱动部件，每个轴向支撑架上均装有一组轴向气浮块，共装有三组轴向气浮块，每组两块分别置于工字圆柱形或纺锤形转轴的上端的下表面和下端的上表面，每个径向支撑架上均装有一组径向气浮块沿转轴轴向布置，共装有三组径向气浮块，与工字圆柱形或纺锤形转轴相配。本发明实现了一种高回转精度气体静压轴系，具有较大的静承载力和静刚度。本发明适用于气体静压轴系，尤其适用于超精密气体静压轴系。

主权项

一种分体式超精密气体静压轴系，所述静压轴系其回转精度为纳米或亚微米级别的静压轴系，其特征在于：包括转台(1)、三组轴向气浮块(3)、三个轴向支撑架(7)、工字圆柱形转轴(8)或纺锤形转轴(8′)、底盘套(10)、连接板(11)、三个径向支撑架(12)、三组径向气浮块(13)；三个轴向支撑架(7)和三个径向支撑架(12)等分安装于底盘套(10)上，三个轴向支撑架(7)和三个径向支撑架(12)相位为60° ，工字圆柱形转轴(8)或纺锤形转轴(8′)的下端与连接板(11)连接，工字圆柱形转轴(8)或纺锤形转轴(8′)的上端与转台(1)连接，每个轴向支撑架(7)上均装有两个为一组轴向气浮块(3)，一个轴向气浮块(3)置于工字圆柱形转轴(8)或纺锤形转轴(8′)的上端的下表面，另一个轴向气浮块(3)同轴置于工字圆柱形转轴或纺锤形转轴的下端的上表面，每个径向支撑架(12)上均装有两个为一组沿工字圆柱形转轴或纺锤形转轴轴向布置的径向气浮块(13)，径向气浮块(13)与工字圆柱形转轴或纺锤形转轴相配。