发明名称 往返于输送机系统的直接装载
摘要 一种直接装载系统,其包括装载端口,用于在邻近输送机的下部位置和直到接近装载端口门的上部位置之间使容器沿竖直取向运动。装载端口包括单臂,该单臂以竖直构型使支承件运动,从而使单臂运动允许支承件在输送机的两个横梁之间的嵌套位置中下降到输送机。输送机包括在横梁中的单槽,该单槽允许单臂通过。单臂从嵌套位置升高离开输送机并且到装载端口门。单臂以及与输送机的槽的交接可以通过其它工具来使用,该工具为例如存放器或者需要直接接触输送机的工具,该输送机用于输送容器(例如,晶片等等)到制造设备的位置/工具。
申请公布号 CN102067300A 申请公布日期 2011.05.18
申请号 CN200980123167.4 申请日期 2009.06.19
申请人 村田自动化机械有限公司 发明人 安东尼·C·伯诺拉;约瑟夫·约翰·法图拉三世;弗鲁芒·I·杰亚诺夫;伊藤浩士;罗杰·G·海因
分类号 H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 田军锋;魏金霞
主权项 一种直接装载工具,包括:(a)输送机,所述输送机沿一方向定向,所述输送机接近第一位置集成,所述输送机包括:(i)第一横梁和第二横梁,所述第一横梁和所述第二横梁中的每一个支承轮,所述轮分别使第一带和第二带运动,其中,所述第一横梁和所述第二横梁以平行定向间隔开,所述第一横梁包括单槽;(b)装载端口,所述装载端口邻近所述输送机的所述第一横梁定向,所述装载端口包括:(i)装载端口开口,所述装载端口开口接近第二位置限定;(ii)轨道,所述轨道在所述输送机的所述第一位置和所述第二位置之间沿竖直方向限定;(iii)单臂,所述单臂被构造用于在所述第一位置和所述第二位置之间沿所述轨道运动,从而所述单臂被构造用于当所述单臂定位在所述第一位置时运动通过所述单槽;以及(iv)支承件,所述支承件连接到所述单臂上,所述支承件沿所述竖直方向运动,以当所述单臂在所述第一位置处于所述单槽中时将所述支承件放置在所述第一横梁和所述第二横梁之间。
地址 日本京都府