含氧杂环丁烷的化合物、光致抗蚀剂组合物、制备图案的方法、以及喷墨打印头

摘要

本发明披露了含氧杂环丁烷的化合物，包括该化合物的光致抗蚀剂组合物，使用该光致抗蚀剂组合物制备图案的方法，以及喷墨打印头，该喷墨打印头包括所述含氧杂环丁烷的化合物的聚合产物。

主权项

1.由式2表示的含氧杂环丁烷的化合物：式2其中：Q₃、Q₄、Q₅、Q₆、Q₇和Q₈各自独立地为氢原子和式4所表示的结构中的结构之一，式4其中R₁为氢原子或取代或未取代的C₁-C₁₀烷基，在Q₃、Q₄、Q₅、Q₆、Q₇和Q₈中的至少一种中的至少一个氢原子被氧杂环丁基取代，c和e各自独立地为1、2或3，d为1或2，f、g和h各自独立地为1、2、3或4，L₂和L₃各自独立地为式5所表示的结构中的至少一种结构：式5以及n为0或1～10的整数。