发明名称 高质量氮化镓系发光二极管
摘要 一种氮化镓系发光二极管,其包括:一衬底;一氮化镓成核层,该氮化镓成核层制作在衬底上;一缓冲层,该缓冲层制作在氮化镓成核层上;一n型接触层,该n型接触层制作在缓冲层上,该n型接触层上面的一侧刻蚀有一台面;一n型插入层,该n型插入层制作在n型接触层远离台面一侧的内部,其上还是n型接触层;一活性发光层,该活性发光层制作在远离台面的n型接触层的上面,并覆盖所述n型接触层的部分表面;一p型电子阻挡层,该p型电子阻挡层制作在活性发光层上;一p型接触层,该p型接触层制作在p型电子阻挡层上,该p型接触层由p型氮化镓构成;一负电极,该负电极制作在n型接触层上的台面上;一正电极,该正电极制作在p型接触层上,完成氮化镓系发光二极管的制作。
申请公布号 CN102064254A 申请公布日期 2011.05.18
申请号 CN201010541038.1 申请日期 2010.11.10
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 马平;王军喜;王国宏;曾一平;李晋闽
分类号 H01L33/12(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/12(2010.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 汤保平
主权项 一种氮化镓系发光二极管,其包括:一衬底;一氮化镓成核层,该氮化镓成核层制作在衬底上;一缓冲层,该缓冲层制作在氮化镓成核层上;一n型接触层,该n型接触层制作在缓冲层上,该n型接触层上面的一侧刻蚀有一台面;一n型插入层,该n型插入层制作在n型接触层远离台面一侧的内部,其上还是n型接触层;一活性发光层,该活性发光层制作在远离台面的n型接触层的上面,并覆盖所述n型接触层的部分表面;一p型电子阻挡层,该p型电子阻挡层制作在活性发光层上;一p型接触层,该p型接触层制作在p型电子阻挡层上,该p型接触层由p型氮化镓构成;一负电极,该负电极制作在n型接触层上的台面上;一正电极,该正电极制作在p型接触层上,完成氮化镓系发光二极管的制作。
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