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发明名称 A method for manufacturing infrared sensor on a wafer basis
摘要
申请公布号 EP2172753(B1) 申请公布日期 2011.05.18
申请号 EP20080017464 申请日期 2008.10.06
申请人 SENSIRION AG 发明人 STREIFF, MATTHIAS;SUNIER, ROBERT;MAYER, FELIX
分类号 G01J5/02;B81B7/00;G01J5/04;G01J5/08;G01J5/12 主分类号 G01J5/02
代理机构 代理人
主权项
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