用于控制研磨修整盘对抛光垫表面的作用的末端执行臂

摘要

一种化学机械平坦化修整设备的增强式末端执行臂，用于改善设备的可靠性和修整及抛光操作的质量，其包括修整器头，该修整器头具有可提供研磨修整盘和所述末端执行臂之间的简化对准/连接的部件，同时还提供用于维护操作的“快速释放”机构。这个增强式末端执行臂还包括改进的致动器机构，该致动器机构提供所述末端执行臂的无静态阻力的运动以及对所述研磨修整盘施加至所述抛光垫的下压力的更佳控制。在所述增强式末端执行臂中使用一种双驱动滑轮系统以最小化当所述末端执行臂枢轴旋转以跟随“老化”的抛光垫的轮廓时所述末端执行臂内的驱动带的倾斜。

主权项

一种在化学机械平坦化修整系统中用于控制研磨修整盘对抛光垫表面的作用的末端执行臂，所述末端执行臂包括：修整器头，其布置在所述末端执行臂的第一自由端，所述修整器头包括研磨修整盘；以及致动器机构，其布置在所述末端执行臂的第二固定端，用于控制所述修整器头相对于抛光垫表面的平移运动和所施加的下压力，其特征在于，所述修整器头进一步包括：带键的对准和连接元件，其经布置后接触所述研磨修整盘，带键的对准和连接元件包括叶轮主体，所述叶轮主体具有键形的中央凹入部分并且包括用于在对准的连接中啮合所述研磨修整盘的至少一个连接构件；以及至少一个顶出机构，其布置在所述修整器头的外围并被配置成将下压力施加至所述研磨修整盘上，足以当需要从所述修整器头移除所述研磨修整盘时破坏由所述带键的对准和连接元件提供的啮合。