衬底清洁设备

摘要

一种衬底清洁设备包括：至少一个辊抛光单元，其可旋转地接触并按压衬底表面且具有清洁衬底表面的抛光辊；以及至少一个修整单元，其提供在辊抛光单元附近并处理抛光辊的表面。可普遍使用具有多种尺寸的衬底，且可高质量地清洁衬底表面。

主权项

一种衬底清洁设备，其特征在于其包括：至少一个辊抛光单元，其可旋转地接触并按压衬底表面且具有清洁所述衬底表面的抛光辊，且所述辊抛光单元还包含一传感器参考部分；至少一个修整单元，其提供在所述辊抛光单元附近并处理所述抛光辊的表面；以及至少一个上/下调节单元，基于接触所述衬底表面的所述抛光辊的所述表面的磨损程度，而独立地使所述辊抛光单元相对于所述衬底上/下移动，其中所述上/下调节单元包括：检测部分，其基于所述抛光辊的磨损量，根据所述检测部分与所述传感器参考部分之间的相互作用依据相对位移，来检测所述辊抛光单元与所述衬底之间的相对间隔；上/下驱动部分，其耦合到所述辊抛光单元；以及控制器，其基于所述检测部分的检测结果来控制所述上/下驱动部分的操作。