全自动进出料装置及其方法

摘要

本发明提供了一种全自动进出料装置及其方法，通过一工作台承载一第一工作对象，并进行晶粒分选的步骤，通过一载入器存放一第二工作对象，并以一取片机构载出第二工作对象至一取放位置，在工作台及加载器之间，通过同步传送机构或一机械手臂进行第一工作对象及第二工作对象位置的交换。其中，第一工作对象及第二工作对象为分料盒、晶圆环、与分料盒及晶圆环以上三者其中之一。

主权项

一种异步式全自动进出料装置，其特征在于，所述的异步全自动进出料装置包括：一工作台，用以承载一第一工作对象，所述的工作台具有一取置机具以进行晶粒分选；一载入器，具有复数个槽位、一取片机构及一取放位置，所述的槽位用来存放第二工作对象，通过该取片机构载出该槽位的第二工作对象至该取放位置；一机械手臂，用以将该取放位置上的第二工作对象传至该工作台，或将该工作台上的第一工作对象传送至该取放位置，再通过该取片机构载入该取放位置上的第一工作对象至该些槽位；以及一缓冲台，以提供该机械手臂传送该第一工作对象或第二工作对象至该缓冲台；其中，当所述的机械手臂将该工作台的第一工作对象传送至该缓冲台上时，通过该机械手臂将该缓冲台的第一工作对象传送至该取放位置，当该机械手臂将该取放位置上的第二工作对象传送至该缓冲台上时，通过该机械手臂将该缓冲台的第二工作对象传送至该工作台。