太阳能电池用硅片的钻石线切割设备及工艺

摘要

本发明涉及一种加工太阳能电池用硅片的钻石线锯的切割设备及工艺，采用的钻石线锯的切割设备包括一个位于两主槽轮间的导轮，钻石钢线通过的导轮导引过渡，从而达到减小其在切割过程中的抖动性，工艺包括：硅棒在切割过程中的钻石线锯张力为26～28N，硅棒在切割结尾处，即剩余1/8～1/10的切割行程，采用0.5～0.7mm/min的切割速度，本发明的方案不仅大大的提高了硅片加工产品产量，而且在硅片加工质量较好，同时消除传统切割方式即“裸钢线+磨料浆液”所带来的环境污染问题，具有实用和推广价值。

主权项

太阳能电池用硅片的钻石线切割设备，包括导轮部分，导轮部分中包括两个主槽轮，其特征在于，在两个主槽轮之间增加一个直径小于主槽轮的小槽轮，小槽轮的轮槽上端外径切线与两主槽轮的轮槽上端外径切线重合，保持在同一水平位置，小槽轮的槽形与两主槽轮的槽形相同，过小槽轮圆心的垂线到两个主槽轮圆心的距离相等，小槽轮作为导轮，用于导引通过两主槽轮间的钻石钢线，从而达到减小其在切割过程中的抖动性，使得该设备具备较好的钢线运行稳定性。