电子束辐照增强多壁纳米管器件横向刚度的方法

摘要

本发明属于形貌检测及纳米加工技术领域，涉及一种电子束辐照增强多壁纳米管器件横向刚度的方法，包括下列步骤：将需要刚度优化的悬空多壁纳米管器件置于聚焦电子束设备样品台上，调节多壁纳米管在电子束垂直方向上；通过电子束成像系统对其进行形貌观测，调整聚焦电子束工作距离；改变不同的电子束辐照参数，包括控制电子束的照射区域、束流强度、加速电压、辐照时间参数，然后开启聚焦电子束发生器，对悬空多壁纳米管器件的局部或全部多壁纳米管进行电子束扫描照射，以满足刚度和柔韧性要求。本发明提出的方法稳定可靠，对悬空纳米管器件可实现不同特征结构的横向刚度控制，定位精度高、灵活性好。

主权项

一种电子束辐照增强多壁纳米管器件横向刚度的方法，采用聚焦电子束设备实现，包括下列步骤：1)将需要刚度优化的悬空多壁纳米管器件置于聚焦电子束设备样品台上，调节多壁纳米管在电子束垂直方向上；通过电子束成像系统对其进行形貌观测，调整聚焦电子束工作距离；2)改变不同的电子束辐照参数，包括控制电子束的照射区域、束流强度、加速电压、辐照时间参数，然后开启聚焦电子束发生器，对悬空多壁纳米管器件的局部或全部多壁纳米管进行电子束扫描照射，以满足刚度和柔韧性要求。