发明名称 |
SiGe BiCMOS工艺中的SiGe PNP双极晶体管 |
摘要 |
本发明公开了一种SiGe BiCMOS工艺中的SiGe PNP双极晶体管,其有源区是利用浅槽场氧化层隔离,包括集电区、基区和发射区。集电区由位于浅槽底部的P型埋层构成,通过在场氧化层上制作深阱接触引出所述集电区;基区通过在有源区进行N型离子注入形成,基区的周侧为浅槽场氧化层,基区宽度和浅槽的深度相当,基区底部和集电区相连接;在集电区对侧的浅槽底部形成一N型埋层,基区和该N型埋层相连并通过在所述N型埋层上的场氧化层上制作深阱接触引出所述基区;发射区由形成于所述基区上方的一P型SiGe外延层构成。本发明能缩小SiGe PNP晶体管的面积和提高SiGe PNP晶体管的电流放大系数。 |
申请公布号 |
CN102064190A |
申请公布日期 |
2011.05.18 |
申请号 |
CN200910201831.4 |
申请日期 |
2009.11.18 |
申请人 |
上海华虹NEC电子有限公司 |
发明人 |
钱文生 |
分类号 |
H01L29/732(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/331(2006.01)I;H01L21/266(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/732(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 31211 |
代理人 |
丁纪铁 |
主权项 |
一种SiGe BiCMOS工艺中的SiGe PNP双极晶体管,其有源区是利用浅槽场氧化层隔离,其特征在于,包括:一集电区,由位于浅槽底部的P型埋层构成,通过在场氧化层上制作深阱接触引出所述集电区;一基区,通过在有源区进行N型离子注入形成,所述基区的周侧为浅槽场氧化层,所述基区底部和所述集电区相连接,在所述集电区对侧的浅槽底部形成一N型埋层,所述基区和所述N型埋层相连并通过在所述N型埋层上的场氧化层上制作深阱接触引出所述基区;一发射区,由形成于所述基区上方的一P型SiGe外延层构成。 |
地址 |
201206 上海市浦东新区川桥路1188号 |