| 发明名称 | 氮原子测定方法、氮原子测定装置和等离子体处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供在大气压附近实时地测定氮原子密度的氮原子测定方法。氮原子测定方法，是在大气压附近测定氮原子的密度的氮原子测定方法，具有以下步骤：对于在氮原子发生源中发生的含有氮原子的气体中的规定量，在上述氮原子发生源的下游，混合浓度已知的规定量的一氧化氮气；上述含有氮原子的气体与混合的上述一氧化氮气的反应后，测定一氧化氮的密度和二氧化氮的密度；使用如下关系算出氮原子密度：氮原子密度为从上述一氧化氮气的已知的浓度减去测定的上述一氧化氮的浓度和测定的上述二氧化氮的浓度之和所得到的差。 | ||
| 申请公布号 | CN102066925A | 申请公布日期 | 2011.05.18 |
| 申请号 | CN200980123355.7 | 申请日期 | 2009.04.17 |
| 申请人 | 三菱电机株式会社;东芝三菱电机产业系统株式会社 | 发明人 | 生沼学;稻永康隆;野田清治;谷村泰宏;田畑要一郎;渡边谦资 |
| 分类号 | G01N31/00(2006.01)I;H05H1/00(2006.01)I;H05H1/24(2006.01)I;G01N21/35(2006.01)I | 主分类号 | G01N31/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 李帆 |
| 主权项 | 氮原子测定方法，是在大气压附近测定氮原子的密度的氮原子测定方法，其特征在于具有以下步骤：对于在氮原子发生源中发生的含有氮原子的气体中的规定量，在上述氮原子发生源的下游，混合浓度已知的规定量的一氧化氮气；上述含有氮原子的气体与混合的上述一氧化氮气的反应后，测定一氧化氮的密度和二氧化氮的密度；使用如下关系算出氮原子密度：氮原子密度为从上述一氧化氮气的已知的浓度减去测定的上述一氧化氮的浓度和测定的上述二氧化氮的浓度之和所得到的差。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||