| 发明名称 | 一种微机械梳齿电容器 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种微机械梳齿电容器，涉及微电子机械领域，所述微机械梳齿电容器包括：固定梳齿电极和可动梳齿电极，所述固定梳齿电极和可动梳齿电极交叠成解耦梳齿电容器，当所述可动梳齿电极在外力作用下，与所述固定梳齿电极相对离面运动时，所述微机械梳齿电容器的电容保持不变。本发明的微机械梳齿电容器成本低、结构简单，可以有效解决微机械陀螺仪执行器的模态耦合问题，以及微机械陀螺仪和加速度传感器的交叉轴灵敏度问题。 | ||
| 申请公布号 | CN102064021A | 申请公布日期 | 2011.05.18 |
| 申请号 | CN200910237505.9 | 申请日期 | 2009.11.17 |
| 申请人 | 北京大学 | 发明人 | 郭中洋;杨振川;闫桂珍 |
| 分类号 | H01G5/40(2006.01)I;H01G5/019(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I | 主分类号 | H01G5/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人 | 苏培华 |
| 主权项 | 一种微机械梳齿电容器，其特征在于，包括：固定梳齿电极和可动梳齿电极，所述固定梳齿电极和可动梳齿电极交叠成解耦梳齿电容器，当所述可动梳齿电极在外力作用下，与所述固定梳齿电极相对离面运动时，所述微机械梳齿电容器的电容保持不变。 | ||
| 地址 | 100871 北京市海淀区颐和园路5号 | ||