发明名称 薄膜晶体管、其制造方法和有机发光二极管显示器装置
摘要 本发明涉及薄膜晶体管、其制造方法和具有该薄膜晶体管的有机发光二极管显示器装置。所述薄膜晶体管包括:基板;缓冲层,位于所述基板上;半导体层,包括在所述缓冲层上的源/漏区和沟道区;栅绝缘层,对应于所述沟道区;栅极,对应于所述沟道区;和源/漏极,与所述半导体层电连接。所述沟道区的多晶硅层可仅包括小角度晶界,且大角度晶界可布置在所述半导体层的除所述沟道区外的区域中。
申请公布号 CN102064197A 申请公布日期 2011.05.18
申请号 CN201010287308.0 申请日期 2010.09.16
申请人 三星移动显示器株式会社 发明人 孙榕德;李基龙;崔埈厚;郑珉在;朴承圭;李吉远;郑在琓;李东炫;苏炳洙;具贤祐;伊凡·马伊达楚克;洪钟元;罗兴烈;张锡洛
分类号 H01L29/786(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人 陈万青;王珍仙
主权项 一种薄膜晶体管,包括:基板;缓冲层,位于所述基板上;半导体层,包括在所述缓冲层上的源/漏区和沟道区,所述沟道区包括多晶硅层;栅绝缘层,对应于所述沟道区;栅极,对应于所述沟道区;和源/漏极,与所述半导体层电连接,其中所述沟道区的所述多晶硅层仅包括小角度晶界,而大角度晶界布置在所述半导体层的除所述沟道区外的区域中。
地址 韩国京畿道