发明名称 机器人装置和设有其的处理装置、处理系统和处理方法
摘要 根据本发明的机器人装置被构造成通过以下方式移送工件,即将包含用于保持工件的保持器具的指部旋转规定的角度。机器人装置包括:包含彼此间隔的第一指部和第二指部的驱动轴。所述第一指部包含第一臂部和第二臂部,所述第一臂部和第二臂部从所述第一指部的旋转中心延伸,而所述第一臂部和第二臂部之间具有规定的角度,从而所述第一臂部和第二臂部彼此相互离开,并且所述第二指部包含第三臂部和第四臂部,所述第三臂部和第四臂部从所述第二指部的旋转中心延伸,而所述第三臂部和第四臂部之间具有规定的角度,从而所述第三臂部和第四臂部彼此相互离开。在所述第一臂部和所述第三臂部沿所述驱动轴的轴向重叠时,所述第二臂部和所述第四臂部彼此相互离开。所述机器人装置还提高了生产率而不造成尺寸增加以及成本增高。
申请公布号 CN101553912B 申请公布日期 2011.05.18
申请号 CN200780044654.2 申请日期 2007.11.30
申请人 芝浦机械电子株式会社 发明人 东野秀史;田部圣裕
分类号 H01L21/677(2006.01)I;B25J9/06(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 蔡胜利
主权项 一种机器人装置,其被构造成移送工件,这是通过将包含用于保持所述工件的保持器具的指部旋转规定的角度而实现的,所述机器人装置包括:驱动轴,所述驱动轴包含彼此相互间隔的第一指部和第二指部,所述第一指部包含第一臂部和第二臂部,所述第一臂部和第二臂部从所述第一指部的旋转中心延伸,而所述第一臂部和第二臂部之间具有规定的角度,从而所述第一臂部和第二臂部彼此相互离开,并且所述第二指部包含第三臂部和第四臂部,所述第三臂部和第四臂部从所述第二指部的旋转中心延伸,而所述第三臂部和第四臂部之间具有规定的角度,从而所述第三臂部和第四臂部彼此相互离开,在所述第一臂部与所述第三臂部在第三移送位置重叠时,所述第二臂部处于第一移送位置,而所述第四臂部处于第二移送位置;在所述第三臂部与所述第四臂部在所述第三移送位置重叠时,所述第一臂部处于所述第二移动位置,而所述第三臂部处于所述第一移送位置。
地址 日本神奈川县