| 摘要 |
<p>Zpusob depozice mikroelektrod cipu, rozmístených na desce, pomocí chemických roztoku, spocívá v tom, že se deska upevní na stul polohovacího zarízení opatreného aplikacní hubicí, která se zavede nad zvolenou elektrodu prvního cipu, pritlací se k desce, následne se do hubice privádí depozicní roztok, který pusobí na zvolenou elektrodu, a prubežne se z hubice odvádí. Po zastavení prívodu depozicního roztoku do hubice a odsátí zbytkového roztoku se hubice zvedne a premístí nad další elektrodu sousedního cipu a postup se opakuje. Zarízení k provádení uvedeného zpusobu je tvoreno polohovacím zarízením (1) s presností lokalizace rádove v .mi.m, na jehož stole se nachází upínac cipových desek (4) a na jeho rameni (2) posuvném v osách x, y a z je upevnena hubice (3) smerující k desce (4), v jejíž ose je prívodní tryska (5) depozicního roztoku a ve stene jeho odvod, pricemž je hubice (3) pres cerpadlo (8) napojena na alespon jeden zásobník (7) depozicního roztoku. Ve výhodném provedení je zarízení opatreno termostatem (6). Na programovatelnou rídící jednotku (11) jsou napojeny pohony polohovacího zarízení (1), cerpadlo (8), prepínac (9) roztoku, elektroda (10) a termostat (6).</p> |
