纳飞秒双激光复合加工系统

摘要

本发明涉及一种纳飞秒双激光复合加工系统。包括飞秒激光器、纳秒激光器、同步控制电路、照明光源、半透半反镜、第一二向色镜、第二二向色镜、聚焦透镜和CCD图像探测器。同步控制电路控制飞秒激光器和纳秒激光器的激光脉冲输出，在时间上精确调节纳秒与飞秒脉冲的相对时间使二者脉冲的前沿同步；照明光源位于半透半反镜的一侧，另一侧为第二二向色镜、第一二向色镜和聚焦透镜依次同轴放置，并与照明光源位于一条直线上；CCD图像探测器位于半透半反镜的反射光路末端。本发明同时集合了飞秒激光加工精度高和纳秒激光加工效率高的优点，实现了高精度、高效率可兼顾的微纳加工；可广泛应用于航空、航天关键零件的高精度加工、激光核聚变点火靶的微结构加工、微型传感器微结构加工等领域。

主权项

纳飞秒双激光复合加工系统，其特征在于：包括飞秒激光器、纳秒激光器、同步控制电路、照明光源、半透半反镜、第一二向色镜、第二二向色镜、聚焦透镜和CCD图像探测器；上述各部分之间的连接关系为：飞秒激光器和纳秒激光器分别通过信号控制线与同步控制电路相连；照明光源位于半透半反镜的一侧，另一侧为第二二向色镜、第一二向色镜和聚焦透镜依次同轴放置，并与照明光源位于一条直线上；CCD图像探测器位于半透半反镜的反射光路末端，该反射光路轴线与第一二向色镜、第二二向色镜、聚焦透镜的轴线垂直。