发明名称 |
用于将金属涂层涂到晶片上的装置 |
摘要 |
说明了一种用于将金属涂层涂到晶片上的装置(100),该装置具有至少一个印刷装置(8,9)和至少一个工件插口(16)。人们希望能够用这种装置获得高的生产率。为此这样设置,即将工件插口(16)布置在旋转台(10)上,所述旋转台可以相对于基座(6)旋转,在该基座上布置印刷装置(8,9)。 |
申请公布号 |
CN101533759B |
申请公布日期 |
2011.05.18 |
申请号 |
CN200810097196.5 |
申请日期 |
2008.05.19 |
申请人 |
移印颜色TC印刷机有限责任公司 |
发明人 |
W·比彻 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
曹若 |
主权项 |
用于将金属涂层涂到晶片上的装置,该装置具有至少一个印刷装置和至少一个工件插口,其特征在于,所述工件插口(16)布置在旋转台(10)上,该旋转台可相对于基座(6)旋转,在该基座上布置了印刷装置(8,9),所述工件插口(16)具有多个工件插口位置(16a,16b,16c)。 |
地址 |
德国新伊森堡 |