发明名称 Support for vertically oriented capacitors during the formation of a semiconductor device
摘要
申请公布号 EP1665372(B1) 申请公布日期 2011.05.18
申请号 EP20040786595 申请日期 2004.08.26
申请人 ROUND ROCK RESEARCH, LLC 发明人 MANNING, MONTGOMERY, H.
分类号 H01L21/8242;H01L21/02;H01L27/108 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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