常关态场发射型射频微机械开关

摘要

本发明公开了一种新型常关态场发射型射频微机械开关，低损耗衬底，绝缘介质薄膜、共面波导的信号线和地线，信号线有两根，设在低损耗衬底中部，纵向位于同一条直线上，地线也有两根，分别位于信号线的左右两侧，地线及信号线与绝缘衬底之间均有绝缘介质薄膜，其特征在于两根信号线相邻的端部各设有一排金属微尖，两排金属微尖之间有间隔；低损耗衬底与两排金属微尖相对应的位置内凹形成一个空腔，使两排金属微尖处于悬空状态。本发明中的共面波导的信号线结构从物理上进行隔断类似机械开关，因此它的隔离度高；而其无可动结构的通断方式类似半导体开关，因此它的可靠性高且响应速度快；且通过采用尖对尖结构，可以获得较低的开关阈值电压。

主权项

一种常关态场发射型射频微机械开关，包括低损耗衬底（1），绝缘介质薄膜（2）、共面波导的信号线（5）和地线（3），信号线有两根，设在低损耗衬底中部，纵向位于同一条直线上，地线也有两根，分别位于信号线的左右两侧，地线（3）及信号线（5）与绝缘衬底之间均有绝缘介质薄膜（2），其特征在于两根信号线（5）相邻的端部各设有一排金属微尖（4），两排金属微尖（4）之间有间隔；低损耗衬底（1）与两排金属微尖（4）相对应的位置内凹形成一个空腔（6），使两排金属微尖（4）处于悬空状态。