快速节能的腔抽气

摘要

本发明涉及一种真空抽气装置，包括串联连接的至少一个主泵(1)和一个辅泵(2)，所述主泵(1)和辅泵(2)分别由第一电动机(1b)和第二电动机(2b)驱动，所述第一电动机(1b)和第二电动机(2b)由各自的电源(1c，2c)供电，所述电源(1c，2c)由处理器和在存储器(3b)中记录的程序监控。在所述存储器(3b)中记录的所述程序产生所述主泵(1)的有规律地降低的速度变化规律(A)以及所述辅泵(2)的有规律地增加的速度变化规律(B)，以在最大化抽气速度的同时降低能量消耗。

主权项

一种用于降低腔(100)中压力的真空抽气方法，至少一个主泵(1)和一个次泵(2)在抽吸气体的流动路径中串联连接，并分别由第一电动机和第二电动机以相同旋转方向驱动，所述次泵(2)具有与所述腔(100)连接的入口并排放到所述主泵(1)的入口中，所述第一电动机和第二电动机由电子控制模块控制，以独立地修改所述两个电动机的速度，其特征在于，在降低所述腔(100)中的压力期间，包括至少一个步骤，即根据所述次泵(2)的旋转速度变化规律(B)逐渐增加所述次泵(2)的旋转速度(V2)，同时根据所述主泵(1)的旋转速度变化规律(A)逐渐降低所述主泵(1)的旋转速度(V1)。