电解质晶体管及其制造方法

摘要

一种电解质晶体管，其包括栅极结构、两源极/漏极、电解质层与埋入式导电层。栅极结构包括栅极介电层与栅极，位在基板上方。两源极/漏极，彼此分离，位于栅极结构两侧的基板上方。电解质层，位于两源极/漏极之间并与其接触，并且位于栅极结构与基板之间并与其接触。埋入式导电层，位于电解质层与基板之间。两源极/漏极之间的电解质层具有沟道，通过电解质层氧化还原反应来改变其导电性，以开启或关闭沟道。

主权项

一种电解质晶体管，包括：栅极结构，其包括栅极介电层与栅极，位于基板上方；两源极/漏极，其彼此分离，位于该栅极结构两侧的该基板上方；电解质层，位于该两源极/漏极之间并与其接触，并且位于该栅极结构与该基板之间；埋入式导电层，其位于该电解质层与该基板之间，以及介电层，位于该埋入式导电层周围，且覆盖于该埋入式导电层上并且具有开口，暴露部分埋入式导电层，并隔绝该埋入式导电层与两源极/漏极；其中，该电解质层形成在介电层的开口上并与埋入式导电层电性连接，该两源极/漏极之间的该电解质层包括沟道，通过该电解质层的氧化还原反应来改变其导电性，以开启或关闭该沟道。