Emitter for an ion source and method of producing same,申请号EP20050016351-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Emitter for an ion source and method of producing same
摘要
申请公布号	EP1622184(B1)	申请公布日期	2011.05.18
申请号	EP20050016351	申请日期	2005.07.27
申请人	ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH	发明人	PILZ, WOLFGANG;BISCHOFF, LOTHAR
分类号	H01J27/26;H01J37/08	主分类号	H01J27/26
代理机构		代理人
主权项
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