发明名称 Inspection system with dual encoders
摘要 A dual encoder motion control system for high speed and high resolution motion control of a spindle is described.
申请公布号 US7944165(B1) 申请公布日期 2011.05.17
申请号 US20080114607 申请日期 2008.05.02
申请人 WD MEDIA, INC. 发明人 O'DELL THOMAS A.
分类号 G01P3/481 主分类号 G01P3/481
代理机构 代理人
主权项
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