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发明名称 Transfer robot and apparatus for processing a substrate having the transfer robot
摘要
申请公布号 KR101034375(B1) 申请公布日期 2011.05.16
申请号 KR20090039246 申请日期 2009.05.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;B25J9/06;B65G49/06;G02F1/13 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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