| 发明名称 |
VERDAMPFERVORRICHTUNG MIT EINEM BEHÄLTER FÜR DIE AUFNAHME VON ZU VERDAMPFENDEM MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT509131(T) |
申请公布日期 |
2011.05.15 |
| 申请号 |
AT20050023355T |
申请日期 |
2005.10.26 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS GMBH & CO. KG |
发明人 |
WENK, HEINRICH |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56;H01G13/00 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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