发明名称 CHEMISCHES MECHANISCHES POLIERSTÜCK MIT MIKROLÖCHERN
摘要
申请公布号 AT507580(T) 申请公布日期 2011.05.15
申请号 AT20010965709T 申请日期 2001.08.29
申请人 SKC CO., LTD. 发明人 PARK, IN-HA;KWON, TAE-KYOUNG;KIM, JAE-SEOK
分类号 B24B37/00;H01L21/304;B24B37/04;B24D13/14;H01L21/302 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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