| 发明名称 |
ZUSAMMENSETZUNG ZUR BILDUNG EINER ANTIREFLEXSCHICHT, LAMINAT UND VERFAHREN ZUR BILDUNG EINER RESISTSTRUKTUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT509300(T) |
申请公布日期 |
2011.05.15 |
| 申请号 |
AT20060111200T |
申请日期 |
2006.03.15 |
| 申请人 |
JSR CORPORATION |
发明人 |
YOSHIMURA , NAKAATSU;KONNO, KEIJI;NATSUME, NORIHIRO |
| 分类号 |
G03F7/09;G03F7/033;G03F7/11;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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