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发明名称
Die attach equipment having a step vacuum absorption structure and die pickup method thereof
摘要
申请公布号
KR101033771(B1)
申请公布日期
2011.05.13
申请号
KR20080137197
申请日期
2008.12.30
申请人
发明人
分类号
H01L21/50
主分类号
H01L21/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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