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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON CMOS-TRANSISTOREN MIT VERSPANNTEM HALBLEITER MIT GITTERFEHLANGEPASSTEN REGIONEN
摘要
申请公布号 DE602004032035(D1) 申请公布日期 2011.05.12
申请号 DE200460032035T 申请日期 2004.08.04
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 CHEN, HUAJIE;CHIDAMBARRAO, DURESETI;GLUSCHENKOV, OLEG G.;STEEGEN, AN L.;YANG, HAINING S.
分类号 H01L31/0328;H01L21/20;H01L21/336;H01L21/8238;H01L21/84;H01L27/092;H01L27/12 主分类号 H01L31/0328
代理机构 代理人
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