发明名称 MEASURING SYSTEM AND METHOD FOR CHECKING A WORKPIECE, IN PARTICULAR A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要 <p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Messsystem zur Überprüfung eines Werkstücks (P1) auf wenigstens ein bestimmtes vorgegebenes Qualitätsmerkmal, mit wenigstens einem Sender (S, S1, S2, S', S", S'"), der elektromagnetische Wellen (W, W1, W2, W3) mit einer vorgegebenen Sendefrequenz aussendet, einem Empfänger (E, E1, E2, E', E", E'") zum Empfangen elektromagnetischer Wellen (W, W1, W2, W3), der zu dem Sender (S, S1, S2, S', S", S'") derart beabstandet ist, dass das zu überprüfende Werkstück (P1) zwischen dem Sender (S, S1, S2, S', S", S'") und dem Empfänger (E, E1, E2, E', E", E'") in das Messsystem einbringbar ist, einer mit dem Empfänger (E, E1, E2, E', E", E'") gekoppelten Auswerteeinheit (A), die in Abhängigkeit von durch den Empfänger (E, E1, E2, E', E", E'") empfangenen elektromagnetischen Wellen (W, W1, W2, W3) bewertet, ob das zu überprüfende Werkstück (P1) ein bestimmtes vorgegebenes Qualitätsmerkmal aufweist, wobei die von dem Sender erzeugten elektromagnetischen Wellen (W, W1) dazu geeignet sind, sich durch das Werkstück (P1) hindurch zu dem Empfänger (E, E1, E', E", E'") auszubreiten. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Auswerteeinheit (A) dazu ausgebildet und vorgesehen ist, das Vorliegen eines vorgegebenen Qualitätsmerkmals des zwischen dem Sender (S, S1, S2, S', S", S'") und dem Empfänger (E, E1, E2, E', E", E'") eingebrachten Werkstücks (P1) durch einen Vergleich der Sendefrequenz der von dem Sender (S, S1, S2, S', S", S'") ausgesandten elektromagnetischen Wellen (W, W1, W2, W3) mit einer Empfangsfrequenz der von dem Empfänger (E, E1, E2, E', E", E'") empfangenen elektromagnetischen Wellen (W, W1, W2, W3) festzustellen.</p>
申请公布号 WO2011054779(A1) 申请公布日期 2011.05.12
申请号 WO2010EP66569 申请日期 2010.11.01
申请人 DI-SORIC INDUSTRIE-ELECTRONIC GMBH & CO. KG;KORBMACHER, STEPHAN;FRAGE, CARSTEN;THURM, MICHAEL 发明人 KORBMACHER, STEPHAN;FRAGE, CARSTEN;THURM, MICHAEL
分类号 G01N21/94;G01N21/95;G01V8/12;G01V8/20;H01L21/00 主分类号 G01N21/94
代理机构 代理人
主权项
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