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发明名称 MEASURING METHOD OF THIN FILM AND MEASURING APPARATUS OF THIN FILM
摘要
申请公布号 KR101034584(B1) 申请公布日期 2011.05.12
申请号 KR20080099539 申请日期 2008.10.10
申请人 发明人
分类号 G01B7/06;G01B7/00 主分类号 G01B7/06
代理机构 代理人
主权项
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