Drucksensor, insbesondere Differenzdrucksensor

摘要

Der erfindungsgemäße Drucksensor umfasst mindestens einen Grundkörper, mindestens eine Messmembran 30, und einen Wandler, wobei die Messmembran ein Halbleitermaterial aufweist, wobei die Messmembran unter Einschluss einer Druckkammer an dem Grundkörper befestigt ist, wobei die Messmembran mit mindestens einem Druck beaufschlagbar ist und druckabhängig elastisch verformbar ist, wobei der Wandler ein von der Verformung der Messmembran abhängiges elektrisches Signal bereitstellt, wobei der Grundkörper ein Membranbett aufweist, an welchem die Messmembran im Falle einer Überlast anliegt, um die Messmembran abzustützen, wobei das Membranbett 21 eine Glasschicht 20 aufweist, deren Oberfläche der Messmembran zugewandt ist, und eine Wand der Druckkammer bildet, wobei die Oberfläche der Glasschicht eine Kontur aufweist, die geeignet ist, die Messmembran 30 im Falle einer Überlast abzustützen, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontur des Membranbetts 21 erhältlich ist durch Durchbiegen eines nicht unterstützten Bereichs einer Glasplatte, welche die Glasschicht bildet, bei erhöhter Temperatur aufgrund der Schwerkraft des nicht unterstützten Bereichs der Glasplatte und anschließendem Abkühlen der Glasplatte.