| 主权项 |
一种空气轴承组件，其包含：上侧部份，其具有多个供应空气及真空洞孔经由其中；下侧部份；以及多个分隔器放置于上侧以及下侧部份之间以及保持上侧以及下侧部份为分隔之关系，其中供应空气及真空洞孔之密度将提供基板之空气轴承以及维持分隔器之数目及相邻距离将保持上侧部份相对于下侧部份为相当均匀平坦性。依据申请专利范围第1项之空气轴承组件，其中洞孔位置及密度使得多个分隔器放置为相当均匀阵列。依据申请专利范围第1项之空气轴承组件，其中洞孔位置及密度使得每一分隔器表面积为相当大足以共同地支撑及保持上侧部份相对于下侧部份为相当均匀平坦性。依据申请专利范围第3项之空气轴承组件，其中每一分隔器接触上侧或下侧部份之表面积为25至125平方英寸。依据申请专利范围第3项之空气轴承组件，其中每一分隔器形状为直径3至6英寸之圆柱形。依据申请专利范围第3项之空气轴承组件，其中每一洞孔直径为0.00至0.75英寸。依据申请专利范围第1项之空气轴承组件，其中更进一步包含：多个供应空气加以及真空管线耦合至洞孔，其中分隔器之位置及密度以及洞孔之位置及密度使得多个供应空气及真空管线由洞孔经由形成于上侧部份，下侧部份以及分隔器间之沟槽，以及由上侧以及下侧部份之间离开。依据申请专利范围第1项之空气轴承组件，其中上侧以及下侧部份由石墨形成。依据申请专利范围第8项之空气轴承组件，其中上侧部份比下侧部份薄。依据申请专利范围第1项之空气轴承组件，其中上侧部份厚度为4至18英寸，以及下侧部份厚度为20至36英寸。依据申请专利范围第1项之空气轴承组件，其中更进一步包含多条空气管线以及多条真空管线位于上侧部份以及下侧部份之间。依据申请专利范围第1项之空气轴承组件，其中上侧部份之平坦性为50微米或更小。依据申请专利范围第1项之空气轴承组件，其中下侧部份包含多个各别部份耦合在一起形成下侧部份。一种空气轴承组件，其包含：由石墨形成之上侧部份，其具有多个供应空气及真空洞孔经由其中，可操作地产生基板之空气轴承；由石墨形成之下侧部份；以及多个分隔器放置于上侧以及下侧部份之间以及保持上侧以及下侧部份为分隔之关系，使得上侧部份为平坦的。依据申请专利范围第14项之空气轴承组件，其中洞孔延伸通过上侧部份，但是并不通过下侧部份。依据申请专利范围第14项之空气轴承组件，其中上侧部份比下侧部份薄。一种组装空气轴承装置之方法，该方法包含：提供上侧部份以及下侧部份，每一部份由石墨所构成以及包含上侧表面以及下侧表面；钻取多个洞孔通过上侧部份，但是并不通过下侧部份；放置多个分隔器于上侧部份及下侧部份之间而并不会干扰洞孔，多个分隔器可操作来保持上侧部份及下侧部份为分隔关系。依据申请专利范围第17项之方法，其中放置多个分隔器之步骤包含在按装上侧部份于下侧部份之前，耦合分隔器至上侧部份之下侧表面。依据申请专利范围第18项之方法，其中更进一步包含在按装上侧部份于下侧部份之前，耦合多条空气管线以及多条真空管线至多个洞孔以及使空气管线以及真空管线通过至少一些分隔器。依据申请专利范围第17项之方法，其中更进一步包含：放置上侧部份于下侧部份上，并使分隔器导引朝向下侧部份之上侧表面；以及进行按装步骤。 |
